电子无尘车间洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、无尘车间截面风速按设计或规范受控,另外该类无尘车间对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚,因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。
一般来说,电子万级无尘车间的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。
芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业无尘车间的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
●电子制造厂万级无尘车间内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
●电子万级无尘车间垂直流无尘车间满布比不应小于60%,水平单向流无尘车间不应小于40%,否则就是局部单向流了。
●电子制造厂无尘车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
● 电子制造行业万级无尘车间内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给无尘车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
电子制造行业无尘车间净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项大值:
●保证电子无尘车间空气洁净度等级的送风量
●根据热,湿负荷计算确定电子厂无尘车间的送风量
●向电子制造厂无尘车间内供给的新鲜空气量