依据不同的标准,净化车间等级划分不同。依据美国政府颁布的标准,可将净化车间分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。
1级:这个级别的净化车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。
10级:这个级别的净化车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级:很多人认为,这一级净化车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
1000级:这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
10000级:万级净化车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
100000级:十万级净化车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。
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