光学电子无尘车间一般适用于电子仪器仪表、计算机、液晶制造、光学镜片制造、航天工业、光刻、微机制造等行业,这类洁净室要求有很高空气洁净度以外,还要保证达到除静电的要求。
光学无尘车间的洁净等级有10、100、1000、10000、100000、300000级等。其中万级无尘车间的标准如下:万级无尘车间0.5微米的最大容许粒子浓度小于352000(pc/m3),5微米的最大容许粒子浓度小于29300(pc/m3)。
万级无尘车间有两种意义,一种是静态万级,就是车间内部有设备但没有在运行,没有人员移动的情况;还有一种是动态,就是内部各个工序在运转的时候的洁净度,一般情况都是指前者。