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电子光学

10万级光学电子无尘车间

10万级光学无尘车间

  光学电子是研究电子在电磁场中运动和电子束在电磁场中聚焦、成像、偏转等规律的学科,目前比较常见的有半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造等行业。科技发展日新月异,对光学电子产品的高精度化和细小化都有了更高的要求。而这些需求,都需要在安全科学的无尘室内完成,所以对光学电子无尘车间技术也有了更高的要求。

  光学电子无尘车间可分为百级、千级、万级、十万级、三十万级等。十万级光学电子无尘车间的标准如下:

  1、尘粒最大允许数(每立方米):大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过20000个;

  2、微生物最大允许数:浮游菌数不得超过500个每立方米,沉隆菌数不得超过10个每培养皿。

  3、压差:相同洁净度等级的净化车间压差保持一致,不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa,净化车间与非净化车间之间要≥10Pa。