电子工厂如大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)等微电子(IC)工厂;液晶显示器(LCD)、彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、等离子显示器(PDP)以及发光二极管(LED)、有机电致发光显示器(OLED)、高分子有机电致发光显示器(PLED)等光电子工厂都离不开洁净的生产环境。因此,建设电子洁净厂房十分有必要。
电子洁净厂房可分为百级、千级、万级、十万级、三十万级等。十万级电子洁净厂房的标准如下:
1、尘粒最大允许数(每立方米):大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过20000个;
2、微生物最大允许数:浮游菌数不得超过500个每立方米,沉隆菌数不得超过10个每培养皿。
3、压差:相同洁净度等级的净化车间压差保持一致,不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa,净化车间与非净化车间之间要≥10Pa。